将白色聚四氟管道如上图安装至设备背面进气口，并用扳手锁紧
配件安装：
靶材：直径2英寸，厚度0.3mm-3mm
靶材的安装：
先分别取下屏蔽罩、靶材压环、靶材，将需要的靶材和靶材压环紧紧贴住，用3颗螺丝错开锁紧压环，拧上屏蔽罩。屏蔽罩距离靶材压环距离3mm左右，不可将屏蔽罩与靶材压环接触，以免造成设备短路
安装基底：
分别取下玻璃罩和样品台，将衬底固定到样品台上，固定好的样品水平放置在基底座上面，并且三个齿轮要相互咬合，最后放好玻璃罩，盖好上盖。
使用前检查：
1、检查水箱里面是否有水打开冷水机电源，检查水冷接口是否连接好，观察有没有漏水的现象 （正常情况不漏水一个月检查一次）
2、真空泵的油箱值是否在min和max之间（油有没有发黄，发黄说明油有杂质需要更换），
3、氩气压力值是否在0.1MPa以下，
4、打开溅射仪电源，点击挡板打开按键，观察腔体内样品台是否旋转顺畅，如有卡顿及时按下挡板复位按键。
溅射流程： 溅射操作前一定要打开水冷
顺时针关闭气体调节阀和放气阀，旋转真空泵手柄至最大值，打开真空泵开关，视线关注触摸屏上的真空度是否有变化，如果无变化，将手往下压住腔体密封上盖（不要用力过大），再查看真空度直到下降至2Pa以下，旋钮气体调节阀到稳定到4Pa左右，并保持5分钟使腔体内部充满氩气，开始溅射。
手动模式：设置样品台转速在0-8r/min，若不需要旋转可设置为0，点击挡板复位按钮，使挡板遮挡基底。设置溅射电流，时间需要自己计时，溅射完成后，点击停止运行，并点击挡板停止旋转（此时不需要挡板复位）。如果想自己探索溅射速率，及时记下溅射电流、电压、功率和时间。
自动模式：预溅射1：清除靶材上的杂质。预溅射2：升温，稳定电流
设置预溅射时间和电流（T1和T2），然后设置沉积的时间和电流（T3）
溅射电流根据靶材不同设置电流不同，观察溅射电压和溅射功率的值，溅射电压通常在315V以上，最好溅射效果在330V-340V范围内。（若电压上不去，可将靶材拆下，用细砂纸打磨靶材背面和溅射靶材座，使他们良好接触（时间长会氧化））
界面操作完成后，先关闭气体调节阀和真空泵手柄，再逆时针旋转放气阀，平衡内外气压，打开玻璃罩上盖，取出样品台，拿下样品。
关闭水源、真空泵、溅射仪，最后关闭电源总开关。
