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研究了等离子清洗对STO瓷片表面及其电容器电学性能的影响
发布者:admin     浏览次数:1211     发布时间:2023/7/7

等离子清洗实验
摘要:研究了等离子清洗对STO瓷片表面及其电容器电学性能的影响。结果表明等离子清洗能大幅改善样品表面清洁度,并对其绝缘电阻和电容值分别有36%和8%的提升。
一、等离子清洗
二、实验结果
三、结论

二、实验结果

三、结论
  研究了等离子清洗对STO绝缘化瓷片表面的影响,并进一步研究了对瓷片电容器(1mm * 1mm)电学性能的影响。结果表明经等离子清洗, STO样品(III-163-165)表面因二次烧结所残留的氧化剂杂质颗粒得到有效清除,STO绝缘电阻值由清洗前的22 GΩ(平均)提升到30 GΩ(平均),电容值由清洗前的960 pF(平均)提升到1038 pF (平均),清洗后样品的绝缘电阻和电容值分别提升了36 %和8.1%。



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