产品用途;
PC在线气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用数字控制 精度高 抗干扰能力强 根据客户要求随意修改气体。
该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用CS200或CS100质量流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强，阀门采用高压球阀做截止阀，气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
技术资料：
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产品型号 |
KT-PCS4Z |
KT-C4ZS |
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控制方式 |
PC软件在线控制 |
7寸触摸屏智能调节 |
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产品类型 |
低零漂及温漂型/超高精度型/数字PC控制/快响应型/ |
高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 |
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可选量程 |
5sccm-50slm(气体量程根据客户需要可选) |
20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) |
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产品精度 |
±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) |
高精度型±1％F.S 普通型±1％F.S |
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重复精度 |
±0.2% FS |
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线性 |
±0.5% F.S. |
高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S. |
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响应时间 |
高精度型≤2sec |
普通型≤4sec |
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工作温度范围 |
(5~45)°C |
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供电电源 |
~85-265VAC 50/60Hz |
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最大功耗 |
40W |
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进气口压 |
≤0.6MPa |
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连接管道 |
316不锈钢管道 |
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截止阀类型 |
手动截止阀 |
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单向阀开启压力 |
0.02Mpa |
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压力显示量程 |
0-0.6Mpa机械压力表 |
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时间设定 |
0-32000分钟 |
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通信口 |
USB-485 |
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程序控制 |
多段程序控制上位机软件控制 |
5段可编程序(时间-流量随意设定值) |
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气体转换 |
有（可更换气体并设置气体系数） |
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压力显示 |
不锈钢机械压力表 |
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气体混合罐 |
有（内部添加扰流挡片混合均匀） |
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气体加热 |
无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温-350℃可调） |
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可选进出气口接头形式 |
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 |
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抗电磁干扰 |
有 |
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外形尺寸 |
550X380X400 |
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重量 |
18KG～20KG |
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