六探针真空探针气体环境密封 测试腔
1、测试腔、控温及加热系统
测试夹具要求：可实现XYZ移动；
测试腔：同时满足静态/动态测试，304不锈钢材质，可在紫外灯下保证气密性测试；
测试样品数：同时测试8个样品，可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试；
测量温度：室温---300 ℃
控温精度：±1 ℃
显示精度：±0.1 ℃
测温传感器：PT100
升温斜率：1-10 ℃/min
通讯类型：RS485
加热功率：500 W
测试腔容积<2 L
2、气体配比器
流量计数量：5个，（根据客户需求标定 气体 量程 进气口和出气口）
流量规格：500 ml/min
精准度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)
重复精度：±0.2% F.S
响应时间：≤1 s
密封形式：金属密封
接头尺寸：6 mm
漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s
通讯接口：RS485
4、样品12*10mm，探针可移动范围x-y 1-10mm，z轴3-5mm
5、每个样品上方一个紫外灯，四个灯连成灯串外置一个可控开关。紫外灯可更换，样品上方2cm。
6、加热板上有个镀金衬底，用来连接栅极。
