D07-60B气体质量流量控制器 高精度 重复性好 快响应型 超大流量计型 广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业
D07-60B 气体质量流量控制器
产品型号：D07-60BM
★ 高精度 重复性好 快响应型 超大流量计型
★ 橡胶密封 模拟电路的MFC
★ 国际标准机械接头
| 编号 |
项 目 |
D07-60BM |
| 1 |
流量规格 |
300，500，750，1000，1500，2000SLM |
| 2 |
准确度 |
± 2% F.S. |
| 3 |
线性 |
±1% F.S. |
| 4 |
重复精度 |
±0.2%F.S. |
| 5 |
响应时间 |
＜ 10 sec |
| 6 |
工作压差范围 |
＜0.2 MPa |
| 7 |
耐压 |
3 MPa |
| 8 |
工作环境温度 |
5~ 45 ℃ |
| 9 |
输入信号 |
无 |
| 10 |
输出信号 |
0～5.00V（输出电流≤3mA） |
| 11 |
阀的类型 |
无 |
| 12 |
电源 |
+15V 50 mA
-15V 50 mA |
| 13 |
外形尺寸 |
见图 3a、3b、3c、3d |
| 14 |
重量 |
5kg |
注意:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为:温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子MFC/MFM产品中，单位SCCM和“mL/min, 0℃,1atm”等同，单位SLM和“L/min, 0℃,1atm”等同。
F.S. (Full Scale): 满量程值
