D07-7C型 质量流量控制器
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7B型的更新换代型
★管状分流 使用寿命长
用途:质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
|
编号 |
项目 |
D07-7CM型 |
|
1 |
流量规格 |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM |
|
2 |
准确度 |
±1.5 % F.S |
|
3 |
线性 |
±1 % F.S |
|
4 |
重复精度 |
±0.2 %F.S |
|
5 |
响应时间 |
10 sec |
|
6 |
气压降 |
<0.01 MPa |
|
7 |
耐压 |
3 MPa |
|
8 |
工作环境温度 |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
|
9 |
输出信号 |
0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) |
|
10 |
电源 |
+15 V 50 mA
-15 V 50 mA |
|
11 |
外形尺寸 |
见图5 |
|
12 |
重量 |
0.92 kg |
注意: 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为:温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子MFC/MFM产品中心，单位SCCM和“mL/min, 0℃,1atm”等同，单位SLM和“L/min, 0℃,1atm”等同。
F.S (Full Scale): 满量程值
