D07-26C质量流量控制器 它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括； 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入； 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
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编号 |
项目 |
D07-26C |
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1 |
流量规格 |
(20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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( 0~1,2,3,5,10) SLM |
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2 |
准确度 |
±1.5 % F.S. |
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3 |
线性 |
±1% F.S. |
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4 |
重复精度 |
±0.2 % F.S. |
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5 |
响应时间 |
≤10 sec |
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6 |
工作压差范围 |
0.1 ~ 0.5 MPa |
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7 |
耐压 |
3 MPa |
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温度系数 |
Zero: ≤±0.2% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; |
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9 |
工作环境温度 |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
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10 |
输入信号 |
0 V ~ +5.00 V |
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11 |
输出信号 |
0 V ~ +5.00 V |
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12 |
电插头形式 |
DB15 pin（Female） |
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13 |
电源 |
+15 V 50 mA
-15V 200 mA |
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14 |
外形尺寸 |
见图4 |
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15 |
重量 |
1.1 kg |
注意：质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分)
SLM (标准升/分);
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0°C );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子 MFC/MFM 产品中心，单位 SCCM 和“mL/min， 0°C，1atm”等同，单位 SLM 和“L/min, 0°C,1atm”等同。
F.S (Full Scale): 满量程值
